北方华创高介电常数原子层沉积设备获批量订单

来源：全球半导体观察整理 2024-03-21 10:59:13

3月21日，北方华创宣布，近期公司12英寸高介电常数原子层沉积设备Scaler HK430实现稳定量产，获得批量订单。这标志着北方华创 CVD （化学气相沉积）先进工艺设备解决方案的成功应用。

为了突破晶体管尺寸微缩的工艺瓶颈，业界采用新型High-K材料HfO 2 （氧化铪）作为栅介质层，结合金属栅极技术，研发出HKMG(High-K/Metal Gate高介电常数/金属栅极)工艺。

北方华创表示，该工艺在45nm及以下节点占据核心地位，CVD/ALD（原子层沉积）工艺设备成为HKMG工艺的重要支撑。

封面图片来源：拍信网

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