来源:全球半导体观察 原作者:Viki
9月5日,集成电路装备企业盛美半导体宣布,公司已收到四台晶圆级封装设备的采购订单:其中两台来自一家美国客户,另外两台来自一家美国研发 (R&D) 中心。
这四款设备支持一系列先进的封装工艺,包括涂胶、显影、湿法蚀刻和刷洗,计划于2025年上半年交付。盛美半导体表示,美国客户订购的是首批设备,还需进行技术验证,公司预计后续还将收到用于批量生产的设备订单。研发中心的订单旨在进一步推进晶圆级封装的研发,并作为一个示范平台,向其他潜在客户展示盛美的技术能力。
盛美半导体主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。
值得一提的是,此前8月16日,盛美上海于临港举行“盛美半导体设备研发与制造中心试生产仪式” 。该中心共有5个单体,包含两座研发楼、两座厂房和一座辅助厂房,建筑面积近13.8万平方米,其中厂房面积4万平方米,满产运行后预计将带来百亿产值。
产品方面,盛美上海持续保持推陈出新。包括带框晶圆清洗设备、Ultra C vac-p面板级先进封装负压清洗设备、新型Ultra C bev-p面板边缘刻蚀设备。
5月22日,盛美上海宣布推出用于先进封装的带框晶圆清洗设备。该设备可在脱粘后的清洗过程中有效清洗半导体晶圆。公司携手一家中国集成电路制造商,已完成双方首台合作设备的安装和验证工作。
据介绍,带框晶圆清洗设备配备四个腔体,通过高纯度溶剂、MegPie溶剂、去离子水、纳米溶剂和异丙醇 (IPA) 喷嘴等选项提供多样性的配置,可衔接适应各种工艺。该设备还能在同一腔体中同时完成清洗和干燥工艺,实现高效清洗和干燥;可提供8英寸和12英寸两种配置,适用于标准晶圆和带框晶圆。
7月30日,盛美上海宣布推出Ultra C vac-p面板级先进封装负压清洗设备,进军面板级扇出型先进封装市场。一家中国大型半导体制造商已订购Ultra C vac-p面板级负压清洗设备,设备已于7月运抵客户工厂。
据介绍,Ultra C vac-p面板级负压清洗设备专为面板而设计,该面板材料可以是有机材料或者玻璃材料。该设备可处理510x515毫米和600x600毫米的面板以及高达7毫米的面板翘曲,利用负压技术去除芯片结构中的助焊剂残留物,显著提高了清洗效率。
9月4日,盛美上海宣布推出用于扇出型面板级封装(FOPLP)应用的新型Ultra C bev-p面板边缘刻蚀设备。该设备专为铜相关工艺中的边缘刻蚀和清洗而设计,能够同时处理面板的正面和背面的边缘刻蚀,显著提升了工艺效率和产品可靠性。
Ultra C bev-p 专为面板衬底而设计,可与有机面板、玻璃面板和粘合面板兼容。Ultra C bev-p能有效管理面板的正面和背面,适用尺寸由510mm x 515mm至600mm x 600mm不等,厚度在0.5mm至3mm之间。该设备可处理最大10mm的翘曲,确保最佳工艺条件。该系统的边缘控制精度为±0.2mm,控制范围为0-20mm。平均故障间隔时间(MTBF)为500小时,正常运行时间达95%,能够提供卓越的可靠性、稳定的性能和高运行效率。
投资布局方面,1月25日,盛美上海发布公告称,拟向特定对象发行股票募集资金总额不超45亿元,扣除发行费用后,募集资金净额拟投入研发和工艺测试平台建设项目、高端半导体设备迭代研发项目、补充流动资金。
其中,根据公告,研发和工艺测试平台建设项目将借鉴国际半导体设备龙头企业设立自有工艺测试试验线的经验,利用公司已有的工艺测试洁净室模拟晶圆制造厂生产环境,配置必需的研发测试仪器以及光刻机、CMP、离子注入机等外购设备,并结合自制的多种工艺设备,打造集成电路设备研发和工艺测试平台,以完善公司研发测试环节的产业布局,提升研发测试能力,为公司产品从研发到定型提供更加完善的测试配套服务。
高端半导体设备迭代研发项目主要通过购置研发软硬件设备,配备相应研发人员,针对公司已形成设备整体设计方案的项目开展进一步迭代开发,保证关键技术和装备具有差异化的全球自主知识产权,助力公司扩大中国市场和开拓国际市场,推动公司进一步发展壮大,凭借公司具有国际竞争力的研发实力,成为多产品的综合性集成电路装备企业集团,从而跻身全球集成电路设备企业第一梯队。
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