上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题

近日，依托2030新一代人工智能国家科技重大专项总体部署，上海人工智能实验室（上海AI实验室）联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系，实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。

这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”，为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。

据“上海人工智能实验室”介绍，目前，上述平台已支撑多批次自动化合成与性能验证，批次间一致性得到显著提升。其中，厦门恒坤新材料科技股份有限公司基于光刻胶配方开发经验，完成了树脂适配，产业关键指标均达预期，后续将进入客户端验证阶段。

光刻胶作为芯片制造的核心材料之一，其质量直接影响芯片的性能和成品率。然而，当前全球高端氟化氪（KrF）光刻胶树脂相关技术与市场长期集中在少数国外企业手中，导致供应链面临高度依赖、材料成本居高不下、难以满足定制化和快速响应需求等局面。

联合团队研发了面向先进材料光刻胶树脂设计的智能化合成平台，并构建起一套“决策-互联-执行-迭代”的智能化研发体系。

该体系以智能化合成平台为物理执行基础，颠覆了传统实验室依赖人工操作的粗放研发模式，实现了从液体精准转移、惰性气氛保护到多级自动化后处理的全流程闭环运行；可将成品树脂金属杂质含量稳定控制在10ppb以下，同时严格把控分子量分布，PDI指标稳定控制在1.3以下。

此外，依托上述智能化研发体系，研发团队在KrF光刻胶树脂配方优化、工艺调控、纯度管控等方面开展系统性攻关，各项核心性能指标均达到预设目标，为后续产业化应用积累了核心技术与实践经验。