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【IC设计】卡尔蔡司镜头供应不足 艾司摩尔EUV设备生产不顺

来源:TechNews科技新报    原作者:Atkinson    

在当前半导体制程已经微缩到10纳米以下之际,大家都寄望借助极紫外光微影设备(EUV)能协助制程向前发展,也使得摩尔定律(Moore’s Law)能够再往下延伸。不过,就目前生产EUV设备的艾司摩尔(ASML)来说,因为其制造的困难度,已经积压了大量订单在手上。现在,有国外媒体指出,之所以使得艾司摩尔的EUV设备生产不顺的主因,就是来自于设备中光学镜头供应商蔡司(Carl Zeiss)供货进度跟不上需求所致。

外媒报导指出,艾司摩尔EUV的光学镜头是德国蔡司公司所生产。但是,由于蔡司的镜头供货量不足,导致艾司摩尔的EUV极紫外光微影设备生产进度缓慢。据了解,7月份艾司摩尔曾经报告指出,至今已经积压了多达21台EUV的订单,每台EUV订单成本高达1.5亿美元。而2017年年底前最多也就只能交付8到9台EUV设备。

报导进一步指出,根据外界预估,随着三星和台积机电都宣布将在2018年试生产内含EUV技术的圆晶制程,使得2017年EUV设备的销售金额预计可达到14.82亿美元,这比2016年的10.36亿美元足足成长了43%,而且这个数字在2019年还将会进一步上升到30亿美元。

目前,艾司摩尔的客户都是一些半导体大厂,比如台积电,三星,英特尔(Intel)等,如果拿不到EUV设备,新世代制程的生产计划必定会受到影响,任谁也不想看到这样的情况发生。所以,艾司摩尔在生产还将要再加把劲的努力。据了解,目前EUV设备的生产,现在还面临一些问题需要调整。除了来自蔡司的镜头的供应不足之外,还有设备上的芯片保护膜仍需要改进。

现阶段,在三星和台积电都宣布将试产内含EUV技术在内的圆晶,反观半导体大厂Intel的态度则是不急不徐。虽然,Intel不是当前第一个采用EUV技术量产圆晶的企业,但将来Intel或许会是购买最多的EUV设备的公司。

因为,2017年三星的资本支出已经达到了170亿美元,Intel则是120亿,台积电也有100亿元,最少的是格罗方德,只有25亿美元。但是,所有厂商在EUV部分的花费总共才14.82亿元。因此,预估在2019年这个数字会进一步上升至30亿美元之际,Intel为加速自己的步伐,并与竞争对手相抗衡,将会比较大程度的采购EUV设备来强化自己的技术,这就是其关键手段之一。

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