EN CN
注册

【存储器】引入EUV光刻机,SK海力士M16新厂竣工

来源:全球半导体观察       

2021年2月1日,SK海力士在韩国京畿道利川总部举行M16新厂竣工仪式。

据了解,SK海力士M16于2018年11月开建,总投资3.5万亿韩元。M16厂将主要生产DRAM产品,总面积5.7万平方米,相当于8个足球场,长335米、宽163米、高105米,是SK海力士国内外生产设施中规模最大的工厂。

官方信息显示,SK海力士首次在M16配备EUV(Extreme Ultraviolet,极紫外)光刻机,通过在M16厂采用先进基础设备,准备把新厂发展成为公司的下一代发展动力。

SK海力士计划运用EUV光刻机,从今年下半年起生产第四代1a纳米级DRAM产品。SK海力士今后将提高EUV设备利用率,进一步增强存储器半导体相关的先进工程技术领导力。

SK海力士表示,M16的竣工也意味着SK海力士于2015年在利川M14厂竣工典礼上宣布的“未来愿景”提前完成。此前,SK海力士宣布自2014年起十年内在韩国建造包括M14在内的3个新厂。2018年于韩国清州完成M15厂的建设后,通过此次M16顺利竣工公司成功地提早三年实现其“未来愿景”目标。

值得一提的是,SK海力士在电话会议中透露,利川M16厂将从今年开始进行试产,并视情况调整,预计6月就能完成试产,接着正式展开大规模量产。

封面图片来源:拍信网