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成功导入ASML光刻机,英诺赛科今年有望进入氮化镓厂商全球前三

来源:全球半导体观察       

成功导入ASML光刻机,英诺赛科今年有望进入氮化镓厂商全球前三

12月8日,英诺赛科(珠海)科技有限公司为ASML光刻机成功导入8英寸硅基氮化镓量产线举办了庆典。事实上,早在今年年初,英诺赛科就和ASML达成了批量购买高产能i-line和KrF光刻机的协议,用于制造先进的硅基氮化镓功率器件。

英诺赛科首席执行官孙在亨介绍,英诺赛科于今年第二季度引进ASML光刻机,改善了光刻工艺窗口,进一步提高了产能和产线良率,随后在短短三个月内实现试生产,最终在10月进入正式量产阶段。

孙在亨表示,通过与半导体设备领跑者ASML的合作,加快了英诺赛科产品推向市场的速度,助力蓬勃发展的氮