台积电三星拼7纳米制程 ASML极紫外光设备订单持续涌入

全球半导体微影技术领导厂商艾司摩尔 （ASML） 公布今年第一季财报，季营收19.4亿欧元，毛利率为47.6%，EUV极紫外光微影系统的未出货订单则已累积到21台，价值高达23亿欧元，预估第二季营收将落在19到20亿欧元之间，毛利率约为43到44%。

ASML总裁暨执行长温彼得 （Peter Wennink） 指出，“积极的产业环境为2017年提供了一个的强劲开始，我们预估这样健康的市场需求将持续今年一整年。我们看到客户对于DUV的强烈需求，有些客户选购效能升级方案以优化他们现有的浸润式机台，因此我们的服务和升级业务在第一季度的表现也非常好，预估这样的趋势将延续到第二季。”

温彼得也说明攸关先进制程设备销售进展，指出EUV极紫外光微影系统正进入量产阶段，订单持续涌入，目前的未出货订单已累积到21台。

三星去年年中传出购买EUV 机台设备，传出预计今年底量产7纳米；台积电7纳米制程已在第一季底试产与准备明年量产，此制程首度导入极紫外光微影技术，并为客户提供强化版的产品设计。

对于第一季产品销售情况，ASML表示，深紫外光 （DUV）微影持续出货，NXT:1980浸润式微影系统给存储器客户及逻辑芯片客户进行10纳米量产、7纳米制程开发，目前NXT:1980浸润式系统的累积装机量已提高达到60多台。

本季ASML和Cadence宣布合作，将ASML的微影和图样模拟（patterning simulation） 模型整合到Cadence的产品中，这将帮助芯片设计业者在设计阶段就能进行可生产性确认，以达到更好的效能并缩短上市时程。极紫外光（EUV）微影已在第一季末到第二季初间完成第一台NXE:3400B系统的出货。

展望第二季，ASML预估整体销售净额可达19到20亿欧元，毛利率约落在43到44%，其中包含约2亿欧元的EUV营收。研发投资金额提高到3.15亿欧元，其他收入部份 （包括来自于客户共同投资计划的收入）约为2,400万欧元，管销费用支出则约1亿欧元，年化税率约13~14%。ASML预估在第二季会有另外3台NXE:3400B EUV微影系统完成出货。