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【材料/设备】上海精测中标3台长江存储膜厚设备

来源:全球半导体观察       

继1月2日,中微中标长江存储9台刻蚀设备订单后,武汉精测电子集团股份有限公司(以下简称“精测电子”)也迎中标订单。

据中国国际招标网消息,1月17日,精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司(简称“上海精测”)中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。

资料显示,上海精测成立于2018年7月,主要从事以半导体测试设备为主的研发、生产和销售,同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。公司以椭圆偏振技术为核心,在1年多时间内开发了膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统,包括集成式膜厚测量机EFILM 300IM、集成单/双模块膜厚测量机EFILM 300DS、高性能膜厚及OCD测量机EPROFILE 300FD等产品型号。

当前,上海精测已获国家大基金入股。天眼查公开信息显示,2019年12月,上海精测已完成股权变更,新增了国家大基金、上海半导体等7个股东,注册资本也有此前的1亿元增加至6.5亿元,其中国家大基金一期注资1亿,对上海精测半导体持股4%,为并列第二大股东。

近日,上海精测实现3台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单,表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力。

事实上,近年来,国产量测设备厂商已经陆续获得长江存储订单,例如上海睿励2017年底拿到长江存储2台膜厚设备订单;中科飞测也拿到了长江存储等大厂的订单;上海精测中标3台膜厚量测设备。

封面图片来源:拍信网 

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