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10月7日,据杭州晶驰机电科技有限公司(以下简称:晶驰机电)官微披露,晶驰机电近日完成数千万首轮融资,由河北正茂产业投资有限公司(正定县政府产业投资基金)领投。
晶驰机电表示,本次融资将有助于推动其在第三代、第四代半导体材料装备的研发和市场推广,提升其在国内第三代、第四代半导体装备行业竞争力,加速推动半导体设备国产化进程。
官微资料显示,晶驰机电成立于2021年7月,其总部与研发中心位于杭州市浙江大学杭州国际科创中心,专注于碳化硅、金刚石、氮化铝等第三、四代半导体材料装备的研发、生产、销售和应用推广。
目前,晶驰机电主要产品有六英寸和八英寸碳化硅外延设备(LPCVD法)、金刚石单晶生长及外延设备(MPCVD法)、氮化铝晶体生长设备(PVT法)、碳化硅粉料合成设备、碳化硅晶锭及晶片退火设备和碳化硅晶片氧化设备。其在第三代、第四代半导体材料装备方面产品线丰富,具备提供整套材料制造解决方案的能力。
晶驰机电已分别与浙江大学、杭州电子科技大学共建联合实验室,拥有一支由中国科学院院士及多名教授专家领衔的技术研发团队,拥有15项已授权及在申请专利,预计每年新增10余项技术专利。
产线建设方面,晶驰机电在今年7月11日与河北正定县举行半导体材料装备研发生产项目签约仪式。签约仪式上,正定县人民政府、正定国控集团分别与晶驰机电签署招商入驻协议和投资合作协议。
市场拓展方面,晶驰机电在5月末中标了清华柔性电子技术研究院单晶MPCVD设备采购项目。