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【制造/封测】国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

来源:全球半导体观察整理       

据国家智能传感器创新中心官微消息,6月30日,由国家智能传感器创新中心(以下简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。

该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控。

图:12寸中试线的工艺设备,来源:国家智能传感器创新中心

面向新兴技术发展和市场应用需求,创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术,重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺,并推动相关产品及应用的产业化。

封面图片来源:拍信网