传SK海力士材料供应商SK Trichem的前驱品质出现问题

来源：全球半导体观察 2023-02-21 13:44:33

据韩国媒体The Elec引述消息人士报道称，SK海力士本月因材料问题导致部分DRAM生产设备为了检查暂停运作，但对生产没有任何影响。

报道称，由于材料供应商SK Trichem提供的含锆(Zirconium)的High-K材料掺有杂质，导致SK海力士DRAM工厂的部分生产设备一度暂停运作。

对此，SK海力士表示，已立即清洁工厂产线，因此产量没有受到影响。同时，SK海力士正在对这起事件进行调查。

SK Trichem指出，这起事件的主因是High-K材料的纯度不足，导致部分设备承受的压力增加，进而被迫暂停运作。

据悉，High-K材料是制造半导体用的高纯度前驱物，以原子级的厚度沉积在DRAM电容上。电容是DRAM的重要组成部分，可以决定DRAM的效能，因此High-K材料的品质至关重要。

根据报道，在问题未完全解决之前，SK海力士将暂停向SK Trichem采购材料，在此期间，SK海力士将向UP Chemical和M Chemical采购High-K材料。

SK Trichem回应称，预计在本月底前完成品质改善，向SK海力士恢复正常供货。

封面图片来源：拍信网

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