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【材料/设备】北方最大半导体材料基地将于年底主体封顶

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10月24日, 2019年下半年德州市协同发展督查评议到德州经济技术开发区,实地察看了有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目。

据一期项目土建负责人介绍,项目一期3个主要车间正在进行二层主体施工和机电预留预埋,目前三个主厂房都有30%到40%的二层已经封顶。此外,专用变电站、尚德八路等工程均按计划推进。项目计划2019年底主体封顶,2020年3月底完成机电安装和动力设施调试,2020年6月底完成工艺设备调试并试产。

有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目由有研科技集团、日本RST株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资,山东有研半导体材料有限公司建设。有研科技集团是国资委管理的96家央企之一和国内有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构,在国内唯一掌握18英寸硅单晶技术、12英寸硅片技术,率先实现8英寸硅片商业化,12—18英寸硅单晶产品可满足全球最先进的半导体设备应用要求。

项目总投资约80亿元,分两期建设,德州政府网指出,项目一期占地326亩,建设直拉车间厂房、硅片厂房、动力中心等,搬迁北京现有的6英寸、8英寸硅晶圆、8英寸单晶硅生产线并扩大产能,形成年产8英寸硅片276万片、6英寸硅片180万片、12—18英寸大直径硅单晶300吨的生产能力。二期项目建设12英寸硅晶圆中试线科研成果产业化基地,年产360万片12英寸硅片。

据悉,有研半导体项目是德州东部城区创新组团的龙头项目,已被山东省政府列为2019年省级重点“头号”项目。据齐鲁网报道,目前该项目规模也是目前北方最大的半导体材料基地。

图片声明:封面图片来源于正版图片库:拍信网

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