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【材料/设备】韩国化工企业已确立高纯度大量生产氟化氢技术

来源:TechWeb       

近日,据国外媒体报道,韩国产业通商资源部日前表示,韩国化工企业已确立能以高纯度大量生产氟化氢的制造技术。氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。

外媒称,韩国化工企业“Soul Brain”新设和扩建了制造工厂,可将液体氟化氢的杂质减少至“1万亿分之一”。这一纯度可用于要求极高纯度的半导体制造。 

韩国经济媒体认为,生产规模将能满足韩国国内70至80%左右的需求。

去年9月,外媒曾报道,三星电子开始在半导体生产线上试用韩国企业加工的氟化氢。

外媒当时表示,在高纯度的氟化氢市场,日本厂商大约占据8至9成份额。三星电子对于是否全面采用日本造以外的氟化氢仍持谨慎态度。

封面图片来源:拍信网

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