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【材料/设备】中试生产8英寸石墨烯晶圆 中科院上海微系统所实验室预计9月完成建设

来源:上观新闻       

据上观新闻指出,中科院上海微系统所创新实验室正在加紧建设,计划今年9月完成实验室建设,中试生产8英寸石墨烯单晶晶圆等多种产品。

2019年9月,中科院上海微系统所与上海市石墨烯功能型平台签约合作,由后者的创新实验室承担中试工作,扩大石墨烯晶圆等产品的生产规模。通过建设创新实验室,实现8英寸石墨烯单晶晶圆、4英寸锗基石墨烯晶圆、大面积六方氮化硼介质薄膜的中试生产。

据中科院上海微系统所研究员吴天如表示,该研究所已经掌握了石墨烯单晶晶圆可控制备技术,实现了4—8英寸单晶的小批量生产。

据悉,中科院上海微系统所在国际上首次实现了半导体锗基石墨烯CVD(化学气相沉积)制备,研制出4英寸锗基石墨烯晶圆。迄今为止,中科院上海微系统所在石墨烯材料制备与器件应用领域已申请100余项专利,授权70余项,其中国际专利9项。

封面图片来源:拍信网