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【材料/设备】年产能2000吨,极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化

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近日,国务院国资委发布消息显示,目前,中国化工黎明化工研究设计院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,价格与进口同类产品相当,但性价比高,标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。

报道指出,由中国化工黎明化工研究设计院承担的国家科技重大专项项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”通过国家重大专项项目组测试与评审,标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。

据了解,高纯度含氟电子气体是极大规模集成电路行业必需的清洗和蚀刻气体,在芯片制作过程中保障极大规模集成电路的生成,确保电路有效发挥作用。

资料显示,中国化工黎明化工研究设计院由A股上市公司昊华化工科技集团股份有限公司100%持股,主营业务涉及化学推进剂及原材料、过氧化氢及配套原材料、含氟气体材料、聚氨酯新材料等四个专业领域,均在国内同行业处于领先地位。

近年来,黎明院在电子气体方面的研发不断取得突破,其生产的“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”子项目已经顺利通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”的现场测试与评审。该项目的验收完成满足了极大规模集成电路行业所需的高纯度气体,实现极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体的国产化。目前相关产品已提交客户使用,市场应用效果良好。

封面图片来源:拍信网