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【材料/设备】年产碳化硅衬底12万片,天科合达第三代半导体材料项目开工

来源:全球半导体观察    原作者:Niki    

近日,北京天科合达半导体股份有限公司(以下简称“天科合达”)第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设项目开工仪式举行。

Source:天科合达

资料显示,第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设项目是天科合达自筹资金建设的用于碳化硅晶体衬底研发及生产的项目,总投资约9.5亿元人民币,总建筑面积5.5万平方米,新建一条400台/套碳化硅单晶生长炉及其配套切、磨、抛加工设备的碳化硅衬底生产线,项目计划于2022年年初完工投产,建成后可年产碳化硅衬底12万片。

北京天科合达半导体股份有限公司总经理杨建表示,目前第三代半导体行业正处于蓬勃发展的阶段,近两年国家对第三代半导体产业高度重视,天科合达公司作为国内领先的碳化硅晶片生产企业和全球主要碳化硅晶片生产企业之一,该项目在大兴区黄村镇顺利开工建设,标志着北京市SiC衬底材料和器件的产业进程将进一步加速发展,对于促进我国碳化硅半导体产业延伸,引领第三代半导体产业发展具有重要的示范意义。

科创板IPO申请已获上交所问询

资料显示,天科合达于2006年9月由新疆天富集团、中国科学院物理研究所共同设立,目前注册资本为18384万元,是一家专业从事第三代半导体碳化硅(SiC)晶片研发、生产和销售的高新技术企业,是全球SiC晶片的主要生产商之一,拥有一个研发中心和一个集晶体生长-晶体加工-晶片加工-清洗检测的全套碳化硅晶片生产基地;全资子公司—新疆天科合达蓝光半导体有限公司位于新疆石河子市,主要进行碳化硅晶体生长。

目前,天科合达正在闯关科创板,7月14日,上交所正式受理该公司的科创板申请,目前其审核状态为“已问询”。根据招股说明书(申报稿)显示,天科合达此次拟募集资金5亿元,拟用于第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设项目。

申报稿显示,天科合达第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设项目计划投资总额为9.6亿元,其中以募集资金投入金额为5亿元,将主要建设一个包括晶体生长、晶片加工和清洗检测等全生产环节的生产基地。项目投产后年产12万片6英寸碳化硅晶片,其中6英寸导电型碳化硅晶片约为8.2万片,6英寸半绝缘型碳化硅晶片约为3.8万片。

根据国家发改委发布的《战略型新兴产业重点产品和服务指导目录(2016年版)》,碳化硅等电子功能材料列入战略型新兴产业重点产品目录。根据工信部、国家发改委、科技部与财政部联合发布的《新材料产业发展指南》,宽禁带半导体材料属于鼓励发展的“关键战略材料”,大尺寸碳化硅单晶属于“突破重点应用领域急需的新材料”。

根据2017年科技部发布的《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》,针对碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等为代表的宽禁带半导体技术对关键制造装备的需求,开展大尺寸(6英寸)宽禁带半导体材料制备、器件制造、性能检测等关键装备与工艺研究已经列为我国“十三五”期间先进制造领域的重点任务。

作为宽禁带半导体器件制造的关键原材料,碳化硅衬底材料制造的技术门槛较高,国内能够向企业用户稳定供应4英寸及6英寸碳化硅衬底的生产厂商相对有限。受中美贸易环境等经济局势影响,近年来我国碳化硅器件厂商的原材料供应受到较大程度的制约,下游市场出现了供不应求的局面。提高碳化硅衬底材料的国产化率、实现进口替代是我国宽禁带半导体行业亟需突破的产业瓶颈。

天科合达表示,公司拟投资建设的第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设项目在扩大现有产能的基础上,通过进一步优化工艺技术,能够实现对下游客户的稳定批量供应,缓解下游市场对碳化硅衬底材料的迫切需求。同时能够进一步提升核心产品的竞争力,提高公司在国内和国际的市场地位,增强在宽禁带半导体材料领域的影响力。

封面图片来源:天科合达