注册

【材料/设备】实现国产替代 ,晶瑞股份半导体级高纯硫酸一期项目落成

来源:全球半导体观察       

近日,苏州晶瑞化学股份有限公司(以下简称“晶瑞股份”)举行年产9万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸一期项目落成典礼,一期3万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸项目即将正式通线投产,向半导体上游厂商全面供货。

根据此前的公告显示,晶瑞股份9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目由江苏阳恒化工有限公司主导实施,一期计划总投资1.87亿元。

资料显示,晶瑞股份是一家微电子材料企业,主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等,晶瑞股份通过自主研发掌握了超纯过氧化氢、超纯硝酸、超纯盐酸、超纯氨水、光刻胶、显影液、剥离液、蚀刻液等生产工艺及其关键核心技术,其中超纯湿化学品已经达到国际领先水平。

目前,晶瑞股份生产的半导体级双氧水、氨水产品已达到国际先进水平,为了增加半导体级高纯硫酸产品品种,晶瑞股份通过收购江苏阳恒化工有限公司的股份实行控股,与日本三菱化学合作,生产出高品质的半导体级高纯硫酸,替代进口硫酸,为国内外客户提供高品质半导体级高纯硫酸。

据悉,该项目采用日本三菱化学株式会社的半导体级高纯硫酸生产技术和装备,利用三菱化学先进的技术和装备、阳恒化工的优质原料和配套公用工程进行生产,该产品已在三菱化学公司安全生产多年,工艺成熟稳定。

晶瑞股份执行董事李勍表示,超大规模集成电路用半导体高纯硫酸项目对晶瑞股份而言,具有极其重要的战略意义,这相当于再造一个晶瑞,项目的落成,意味着国产半导体级高纯硫酸产品跻身全球高纯化学品G5等级的最高水平,可以满足当前国内芯片制造最先进工艺制程的要求,打破了巴斯夫等国际巨头垄断。

封面图片来源:拍信网