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【材料/设备】晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶

来源:全球半导体观察整理       

据晶盛机电官微消息,7月20日,晶盛机电晶体实验室用自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉炉成功研出首颗12英寸硅单晶。

晶盛机电表示,这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉生长出8英寸硅单晶之后,再次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展,也为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障。

消息显示,研发团队总结8英寸硬轴炉的研发试制经验以及巩固原有技术的基础。经过近一年的持续攻关,终得以解决硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程震动消除等诸多技术难题,实现了高稳定性晶体生长环境,并为12英寸硅单晶体内微缺陷控制和径向均匀性的提高提供了技术支撑。

据了解,晶盛机电依托两项国家科技重大02专项课题(“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),15年专注于半导体硅单晶生长装备研发以及发展发展LED衬底材料,相继开发出全自动单晶生长炉、多晶铸锭炉、区熔硅单晶炉、蓝宝石炉、碳化硅炉等晶体生长设备,同时开发销售晶体加工、光伏电池和组件等装备。

根据7月19日晶盛机电披露的投资者关系活动记录表,该公司目前基本实现8英寸晶片端长晶到加工的全覆盖,且已实现量产和批量出货;12英寸单晶硅生长炉、滚磨设备、截断设备、研磨设备、边缘抛光设备已通过客户验证,并取得良好反响,12英寸单晶硅生长炉及部分加工设备已实现批量销售,其他加工设备也陆续客户验证中。

半年度业绩预告显示,2021年上半年晶盛机电预计归属于上市公司股东的净利润5.53亿元–6.36亿元,同比增长100%–130%。晶盛机电表示,上半年受益于国内光伏行业的持续发展,下游硅片厂商积极推进扩产进度,公司把握行业发展趋势,加强市场开拓,提升服务品质,实现订单量、营业收入规模及经营业绩同比大幅增长。


封面图片来源:拍信网