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北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示

来源：全球半导体观察整理 2022-05-17 11:46:20

5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体增强原子层沉积设备，货物品牌为PicosunOy，中标金额328.98万元。

据该项目招标公告，所采购的设备用于国家重点研发计划项目、国家自然科学基金项目，用于研究新结构氧化物半导体器件、铁电场效应晶体存储器和三维集成技术等。

封面图片来源：拍信网

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