“芯”势力领航 | 先导科技集团及旗下公司亮相2025 SEMICON半导体盛会

3月26日，上海国际半导体展览会（SEMICON China）于上海新国际博览中心隆重开幕。先导科技集团有限公司及旗下公司先导电科、威科赛乐、先导芯光、先导微电子、先导元创精密、先导元创流体携明星产品重磅参展（E7#7130，#7110），集中展示先导在半导体行业的最新产品与技术成果。参展期间，先导科技集团的硬核产品广泛受到业界同仁、行业专家及媒体的高度关注。

重磅“芯”品：

①质量流量控制器

MFC即质量流量控制器，是现代工业过程控制中不可或缺的高精度的仪表设备，能够精确控制并测量气体的质量流量，在半导体制造、化学工程、生物医药、航空航天等多个行业中发挥着举足轻重的作用。先导元创精密打造V/P/T/E四种系列MFC产品矩阵，可满足客户多种工业定制化需求。其中V100/VG80系列MFC采用“双阀+压降+位置传感”的独创设计，性能优于业界 Tier1产品，具有响应速度快（启停时间≤100ms），测量精度高（±0.5% S.P.），测量量程宽（2-100% F.S.），自诊断能力强（少维护TCOO）等特点。凭借MFC强大的性能表现，广东先导元创精密科技有限公司荣获SEMICON CHINA 2025产品创新奖三等奖！

②EEL 850nm SLD边发射激光器芯片

EEL即边发射激光器，作为光电子行业的重要组成部分，其应用已涵盖汽车、消费电子及航空航天等方面。威科赛乐研发的850nm SLD边发射激光器芯片具有高功率、低纹波、高谱宽等特点，光功率可达20mW以上且Rip<0.2dB，是应用于光纤陀螺，医疗断层扫描技术的重要光源。

③超高压汞灯

超高压汞灯有着特殊的光谱特性、极高的亮度和稳定的紫外光输出，在半导体光刻、显示面板光刻、PCB曝光领域中有着十分重要的应用。先导元创自研的超高压汞灯产品系列齐全，从低功率到高功率全覆盖（75w-16000W）；光谱强度高，峰值辐射在365nm处；光输出稳定，确保每次曝光都能获得一致的光能密度；产品适应性广，匹配ASML/CANON/NICON/SUSS等厂家设备；使用寿命长，专为持久性能而设计。

④2.5Gbps InGaAs APD光电二极管芯片

光电二极管芯片是将光信号转换为电信号的关键器件，APD光电二极管芯片的灵敏度高于PIN二极管芯片，能够在弱光条件下检测光信号。先导光芯研发生产的2.5GbpS APD 芯片为正照平面型结构裸芯片，PN电极异面，具有高带宽、高响应度、高可靠性等特点，可应用于光纤通信、OTDR仪器和扫描成像仪等领域。

⑤化学镀膜前驱体

化学镀膜前驱体是一种用于化学气相沉积（CVD）或原子层沉积（ALD）等工艺的化学原料，广泛应用于半导体、微电子和光学等领域。其中，在半导体中的应用环节主要包括薄膜沉积、外延生长、刻蚀等环节。此外，前驱体也可用于薄膜封装技术，发挥水汽阻隔、延长有机发光物质寿命的作用，是OLED工艺中的核心技术之一。目前，先导微电子可提供高纯度的四氯化铪、二氯二氧化钼、三甲基铝等金属前驱体，以及双(二乙基氨基)硅烷、正硅酸乙酯等硅基前驱体。

先导科技集团作为业内领先的泛半导体科技企业，在展会上不仅体现了出色的研发成果，同时也向业界彰显了公司的雄厚实力。未来，先导将持续强化研发，夯实内功，以更高标准推进产品与服务的提升，为行业和客户创造更多价值。