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【材料/设备】芯源微高端晶圆处理设备产业化项目开工

来源:全球半导体观察       

2020年7月27日,芯源微高端晶圆处理设备产业化项目开工仪式举行。

据沈阳芯源公司官微指出,芯源微高端晶圆处理设备产业化项目总投资5.28亿元,将分2期建设,其中一期投资2.38亿元。项目总用地面积45576.95平方米,总建筑面积76728.84平方米,一期建筑面积47012.17平方米。项目主要用于生产高端晶圆处理设备,包括前道涂胶/显影机及前道单片式清洗机等,拥有广阔的市场前景。项目将打造东北地区顶级的半导体专用设备研发与生产基地,全部达产后将带动就业2000人。

资料显示,芯源微成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,目前主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机),产品可用于6英寸及以下单晶圆处理(如LED芯片制造环节)及8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。

2019年12月16日,芯源微在上海证券交易所科创板上市,成为了辽宁省科创板“第一股”和中科院第一家科创板上市企业。

据介绍,芯源微生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白,其中,在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节,芯源微作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代;在集成电路制造前道晶圆加工环节,芯源微已成功突破前道涂胶显影设备关键技术,成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证与改进。

芯源微客户名单可谓“大咖”云集,包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、厦门士兰、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等一线大企业。

沈阳市委常委、副市长李松林表示,芯源微项目的开工对于沈阳市调整、完善产业结构具有重大意义。尽管芯源微项目投资仅5亿元,但电子信息产业前途无量,这对于沈阳未来产业的全面提升和发展至关重要。

封面图片来源:沈阳芯源公司