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【材料/设备】华海清科CMP设备在中芯国际生产晶圆突破百万片

来源:全球半导体观察       

据华海清科官方公众号消息,7月30日,华海清科CMP国产设备在单一客户中芯国际生产晶圆突破百万片。

据了解,华海清科第一台设备于2015年8月4日进入中芯国际,与中芯国际团队密切合作,深入交流,短短半年通过验证,迅速取得了多台CMP订单。CMP工艺做到了全覆盖,包括SI,ILD,STI,BSI,W,POLY,Cu,不断刷新着国产CMP设备在中芯量产破百片、破千片、破万片,突破百万片的加速度,同时也打破了CMP设备依靠国外进口壁垒。目前,华海清科CMP设备已批量进入国内各大集成电路生产线。

公开资料显示,华海清科成立于2013年,是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略,为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化成立的高科技企业。公司控股股东为清控创业投资有限公司,实际控制人为清华大学。

该公司主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

官网资料显示,华海清科持续研发出Universal-200Plus、Universal-300Plus等系列产品,实现了8-12英寸晶圆抛光设备规格型号覆盖,截至目前已有多台CMP设备进入国内先进集成电路大生产线,实现了国产抛光装备的规模化制造与产业化应用。

根据中国国际招标网,华虹无锡项目、上海华力二期的设备招投标工作自3月启动,中微半导体、北方华创、华海清科等获得多个设备订单,引领设备国产化。其中,华海清科近期在华虹半导体(无锡)项目获得3台CMP,累计获得5台CMP订单,在该产线的CMP 的市占率是38%。此外,华海清科还中标上海新昇1台CMP设备。

据悉,华海清科正在进行科创板上市工作。

根据5月15日,天津证监局披露的华海清科首次公开发行股票(并在科创板上市)接受辅导公告显示,国泰君安证券股份有限公司已于5月12日与华海清科签署首次公开发行股票(并在科创板上市)的辅导协议。

封面图片来源:拍信网