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【材料/设备】ASML:从荷兰向中国出口DUV光刻机无需许可证

来源:全球半导体观察    原作者:Grace    

本土晶圆代工企业崛起之际,设备进口议题备受关注。光刻机龙头ASML近日表示,从荷兰向中国出口DUV光刻机无需许可证。

“根据当前法规,ASML无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统;对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户,ASML需获得许可证。”光刻机龙头ASML总裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度财报说明会上对中芯国际等中国客户的出货情况做了解释。

ASML近日还公布了DUV光刻业务的最新进展:公司在本季度对第一台TWINSCAN NXT:2050i进行了质量认证,并于第四季度初发货。NXT:2050i基于NXT平台的新版本,涉及掩模版工作台,晶圆工作台,投影物镜和曝光激光器的技术改进,提供了比其前身更好的套刻精度控制,以及更高的生产率。而且,NXT:2050i 将立即进入批量生产。

关于最为先进的EUV光刻机出口中国的政策,ASML并未提及。

封面图片来源:拍信网