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【材料/设备】晶瑞股份之后,这家公司与ASML签署了批量购买协议

来源:全球半导体观察    原作者:全球半导体观察    

近日,国内半导体企业与ASML的合作接连传来好消息。继近日晶瑞股份成功ASML XT 1900 Gi型光刻机之后,国内第三代半导体企业英诺赛科亦与ASML签署了购买协议。

2021年1月21日,英诺赛科和ASML达成批量购买高产能i-line和KrF光刻机的协议,用于制造先进的硅基氮化镓功率器件。

资料显示,英诺赛科科技有限公司成立于2015年12月,是一家致力于第三代半导体硅基氮化镓芯片制造的企业。公司成功建成投产全球首条200mm硅基氮化镓晶圆与功率器件量产生产线,主要产品包括200mm硅基氮化镓晶圆及30V-650V氮化镓功率器件。英诺赛科产品的设计与性能均达到国际最先进水平,并已广泛应用于PD快充、立体(3D)相机、移动电子设备(包括智能手机、笔记本电脑、平板电脑)等领域。

ASML是全球芯片制造设备领导厂商,其生产的XT400和XT860的i-line和KrF经过升级,能够在硅基晶圆上制造氮化镓功率器件。据悉,ASML的i-line和KrF光刻机能提供最卓越的性能、市场上最高的生产效率以及最低的成本。双工件台技术架构已经成为全球300mm和200mm晶圆量产生产线中的先进光刻技术代表 。

英诺赛科将在今年第二季度搬入首批光刻机,这是第三代半导体领域首次量产应用先进的ASML TWINSCAN(双工件台)光刻技术,这一实施标志着第三代半导体制造技术正式进入了一个全新的纪元。

英诺赛科CEO孙在亨表示,作为一家致力于推动第三代半导体创新革命的企业,我们需要与像ASML这样全球半导体领军的企业合作,采用更加先进的制造工艺,实现更加高的性能、良率和产出,在快速成长的各种应用领域(例如快充、TOF相机(Time-of-Flight Camera) 、智能手机、电动车、数据中心等)共同推出最先进的解决方案以及下个世代的氮化镓器件。

ASML全球副总裁,中国区总裁沈波指出,第三代半导体在全球市场有广阔的应用前景,阿斯麦会全力提供光刻解决方案和服务,支持英诺赛科在这一领域的发展。

封面图片来源:ASML