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【材料/设备】安徽微芯嘉定中试基地启动

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近日,安徽微芯长江半导体材料有限公司嘉定中试基地在中科院上海硅酸盐研究所举行。

上海申和热磁电子有限公司消息指出,安徽微芯长江半导体材料有限公司嘉定中试基地11月25开始装修改造、湖州设备拆卸运输及嘉定基地安装调试,厂务支持系统提标升级仅用65天完成。2021年计划目标:生产4吋2150片;6吋240片,验证片150片,良率达到行业内中上水平;完成公司级研发课题6项;申请专利20项。

2020年11月,安徽微芯长江半导体材料有限公司成立暨建设工程奠基仪式在铜陵经开区举行。据悉,安徽微芯长江半导体材料有限公司SiC项目投资13.5亿人民币,占地100亩,新建厂房建筑使用面积3.2万平,包括碳化硅晶体生长车间、晶圆加工车间、研发中心、动力厂房、辅助用厂房等。

该项目以节能环保, 4&6吋工艺兼容的自动化产线为实施要点,建设工期4年,项目从2020年10月起至2024年10月止,计划2021年3季度完成厂房建设和设备安装调试,2021年12月底完成中试并开始试销,投产后前3年生产负荷分别为33%、67%、100%。达成后预计年产4英寸碳化硅晶圆片3万片、6英寸12万片。

封面图片来源:上海申和热磁电子有限公司