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【材料/设备】华特气体与红华实业签合作协议 研发高纯三氟化氯

来源:全球半导体观察       

日前,华特气体与四川红华实业正式签订了高纯三氟化氯生产技术合作开发协议。其中,四川红华实业为中国核工业集团有限公司全资孙公司。

据华特气体官网中描述,高纯三氟化氯是一种新型蚀刻材料,主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗过程。且由于其氟碳比较高,氟离子自由基较强,这一气体在先进制程中的应用愈加广泛,特别在14nm以下制程中具有不可替代的作用。

同时,华特气体认为,相比于普通的氟碳蚀刻材料,高纯三氟化氯的GWP值(全球变暖潜能值)极低,满足了未来芯片制程向更环保、更可持续方向发展的需求。而此前,高纯三氟化氯产品市场主要为日本、美国企业所垄断,国内较少见到高纯三氟化氯可用于芯片制程的报道。

对于此次合作,华特气体表示,红华实业技术研发能力强、检测手段齐全,双方共同研发高纯三氟化氯相关核心技术,能够在这一领域打破国外垄断,快速实现进口替代。未来,随着半导体工艺的不断升级迭代,高纯三氟化氯在芯片制造、第三代半导体、面板等领域将拥有更广阔的市场潜力。

图片来源:华特气体官网

据了解,华特气体主营特种气体的研发、生产及销售。其生产的特种气体包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳等,可用于集成电路、新型显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程,如清洗、蚀刻、光刻等。根据其2020年业绩快报,2020年华特气体实现营业总收入9.98亿元,同比增长18.29%,归属于上市公司股东的净利润1.05亿元,较去年同期增长45.25%。

封面图片来源:拍信网