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【材料/设备】晶瑞股份:正在加快推进KrF光刻胶客户验证

来源:全球半导体观察       

今年以来,随着经济复苏,国内外晶圆厂积极扩产,除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂外,中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等本土晶圆厂也积极扩产和释放产能。这导致国内光刻胶需求量大增,尤其是在KrF、ArF等高端半导体光刻胶。

但受国产光刻胶企业技术限制,我国在高端光刻胶主要依靠进口。

据披露,今年2月份在日本福岛地震影响下,半导体光刻胶市场规模近13%的信越化学至今尚未完全恢复生产。同时,在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下,信越化学不得不停止向中国大陆几家晶圆厂高端光刻胶的供应。受此影响,国内多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张,部分晶圆厂甚至出现断供,多家晶圆厂不得不转向导入本土光刻胶企业。

媒体从晶瑞股份获悉,受日本信越化学KrF光刻胶对我国多家晶圆厂限供或断供影响,国内KrF光刻胶严重缺货。目前,晶瑞股份的KrF光刻胶已完成中试,正在加快推进相关产品的下游客户验证。

封面图片来源:拍信网