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【材料/设备】东方晶源首台关键尺寸量测设备进驻中芯国际

来源:全球半导体观察整理       

东方晶源官方消息显示,6月30日,东方晶源在北京总部隆重举行国内首台关键尺寸量测设备(CD-SEM)出机仪式,正式宣布斩获订单并出机中芯国际。

新闻稿表示,此次出机仪式,标志着东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后,再一次取得重大产品技术突破,填补了国产关键尺寸量测设备(CD-SEM)的市场空白。

图片来源:东方晶源

据介绍,东方晶源此次出机的关键尺寸量测设备(型号:SEpA-c410)面向300mm硅片工艺制程,通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案,搭配精准的量测算法,可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后,将通过实际产线验证,进一步提升、完善设备性能,向产业化目标整体迈进。

新闻稿称,这是东方晶源继首台电子束缺陷检测设备进驻中芯国际产线后,首台关键尺寸量测设备能够进入中芯国际12英寸产线验证。

图片来源:东方晶源

资料显示,东方晶源成立于2014年,总部位于北京亦庄经济技术开发区,专注于芯片制造关键环节的良率控制和提升领域,成功自主研发的核心产品系列包括计算光刻产品(OPC)、电子束缺陷检测装备(EBI)、关键尺寸量测装备(CD-SEM)等。

东方晶源在新闻稿中指出,公司旗下计算光刻系列软件(OPC)、电子束缺陷检测设备(EBI)均已通过国际大厂产线验证并实现订单收入。目前,东方晶源已经与国内大部分有市场影响力的晶圆代工企业建立合作关系。

封面图片来源:东方晶源