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【材料/设备】全国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产

来源:全球半导体观察整理       

据合肥新闻联播消息,7月15日,,由至纯科技投资10亿元建设的晶圆再生基地(一期)项目(至纯科技合肥至微项目)在合肥市新站高新区正式量产。报道指出,该项目是国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂。

图片来源:合肥新闻联播视频截图

报道显示,合肥至微半导体有限公司,是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体,为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。根据资料,至纯科技致力于半导体设备、半导体工艺系统以及相关专业服务。

合肥至微半导体鸟瞰,图片来源:合肥新站区

根据合肥新站区消息,该项目投资约10亿元,包括晶圆再生和半导体部件再生。其中,晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线,不仅填补了产业链的空白,也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。

据悉,晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷,使处理后的晶圆达到新片的标准,实现其循环再利用,进而为企业节约大量成本。

合肥新站区消息称,至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础,是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后,可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力,满产后年产值至少可超过6亿元。

至纯集团董事长蒋渊表示,该项目于2020年3月开工,今年3月工厂开始试生产,到这个月,随着ISO认证的顺利通过,已经有了正式订单开始量产。

封面图片来源:拍信网