2021-04-02
至纯科技旗下合肥至微半导体晶圆再生项目正式进入试生产阶段。项目达产后将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体腔体零部件再生产能...
2020-08-18
8月17日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”）发布非公开发行A股股票预案，拟募集资金不超过（含）18.6亿元，扣除发行费用后。。。
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