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【材料/设备】晶瑞电材:高端KrF(248)光刻胶已完成中试,公司已到5台光刻机

来源:全球半导体观察    原作者:Kiki    

12月15日,晶瑞电材在互动平台表示,公司近期已购得KrF光刻机一台,可用于KrF光刻胶的曝光测试,同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。公司高端KrF(248)光刻胶已完成中试,建成了中试示范线,已进入客户测试阶段。

据悉,目前晶瑞电材ArF(193)高端光刻胶研发工作已正式启动,已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置,其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。晶瑞电材补充,此前,公司已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机,再加之此次购得的KrF光刻机,公司已经到位5台光刻机。

公开资料显示,该公司3万吨电子级硫酸产线已于今年上半年顺利通车,经试生产调试,产品金属杂质含量低于10ppt,达到G5级水平,品质已达全球同行业第一梯队水平,产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求。目前,公司正在积极开展客户论证测试,市场反应良好。现有3万吨硫酸项目的顺利建设为二期6万吨硫酸项目的顺利实施提供了基础和保障。二期6万吨电子级硫酸项目已启动,项目的建设期为12个月,当前已取得环评审批。

12月13日,晶瑞电子材料股份有限公司(以下简称“晶瑞电材”)发布2021年度以简易程序向特定对象发行股票募集资金使用的可行性分析报告(修订稿)。本次发行的发行对象为诺安基金管理有限公司、济南瑞和投资合伙企业(有限合伙)、财通基金管理有限公司、高盛公司(Goldman Sachs&Co.LLC)、郭伟松。所有发行对象均以现金方式认购本次发行的股票。

据悉,本次发行拟募集资金总额为 276,999,997.16 元,公告指出,本次发行所募集资金主要投资于阳恒化工年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目(二期)以及补充流动资金或偿还银行贷款。

图片来源:晶瑞电材公告截图

其中,阳恒化工年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目(二期)目标为,江苏阳恒化工有限公司在原厂址区域内,在不增加硫酸总产能和排污总量及污染因子的前提下,通过引进技术装备对原基础化工产品工业用硫酸生产装置进行改造提升,生产部分半导体级高纯硫酸,实现技术改造标准达到国际先进水平,安全、环保、投入产出水平高于原项目水平。本次发行用于阳恒化工年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目(二期)投资,本项目产能为 60,000 吨/年。

公开资料显示,晶瑞电材近三年不断扩大产能,包括南通的“年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目”、眉山的“年产 8.7 万吨光电显示、半导体用新材料项目”、潜江的“晶瑞(湖北)微电子材料项目”等项目有序开展,运营资金增加。