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【材料/设备】全自动金刚石生长炉研发成功,晶盛机电破解“终极半导体”材料

来源:全球半导体观察    原作者:刘静    

近日,晶盛机电技术研发再次突破,成功研发出全自动金刚石生长炉。

01、金刚石晶体生长炉成功研制,晶体生长设备家族再添新成员

官方消息称,晶盛机电晶体实验室经过半年多的工艺测试,全自动MPCVD法生长金刚石设备(型号XJL200A)成功生长出高品质宝石级的金刚石晶体。

图片来源:晶盛机电

据介绍,此次XJL200A金刚石生长炉成功解决了传统的MPCVD培育钻石生长技术的行业痛点:对多晶及生长裂纹等缺陷的判断、对晶体温度和生长厚度等关键生长参数的控制都依赖人工判断,克服了目前人工培育钻石过程中质量控制和规模化生产的瓶颈。

图片来源:晶盛机电

作为碳化硅、氮化镓之后具有代表性的新一代半导体材料,金刚石晶体又称钻石,被誉为“终极半导体”材料,此次金刚石晶体生长炉成功研制,标志着晶盛机电在硅、蓝宝石、碳化硅等晶体生长设备家族再添新成员。

据项目负责人表示,目前已经完成了设备定型和批量工艺开发,设备即将投放市场,能为客户提供一站式解决方案。

02、23万片意向订单在手,50亿SiC衬底晶片项目即将开工

资料显示,晶盛机电是国内领先的半导体材料装备和LED衬底材料制造的高新技术企业,主要围绕硅、碳化硅、蓝宝石三大主要半导体材料开展业务。

近年来,晶盛机电顺应行业发展趋势,提早布局碳化硅晶片市场。目前,该公司碳化硅外延设备已通过客户验证,同时在6英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节建立测试线,其6英寸碳化硅晶片已获得客户验证。

晶盛机电此前在投资者关系活动记录表中披露,截至2022年2月7日,客户A已与公司形成采购意向,2022年-2025年公司将优先向其提供碳化硅衬底合计不低于23万片。

图片来源:晶盛机电

 

此外,为加快推进第三代半导体材料碳化硅业务,2月7日,晶盛机电发布公告称,拟募集资金不超过57亿元,其中拟投入31.34亿元在宁夏银川建设碳化硅衬底晶片生产基地项目。

图片来源:晶盛机电

2月25日,晶盛机电碳化硅衬底晶片生产项目正式落户宁夏。据央广网报道,该项目总投资50亿元,一期预计3月开工建设,投资总额33.6亿元,一期建成达产后预计年产6英寸碳化硅晶片40万片。

封面图片来源:拍信网