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【材料/设备】鼎龙股份:氧化铝抛光液产品已通过客户端验证,并开启计划采购

来源:全球半导体观察整理       

3月10日,湖北鼎龙控股股份有限公司(以下简称“鼎龙股份”)发布《关于公司抛光液产品通过客户端验证并开启计划采购的公告》。

公告显示,近日鼎龙股份控股子公司武汉鼎泽新材料技术有限公司的氧化铝抛光液产品在某家公司28nm节点HKMG工艺的Al CMP制程验证通过。


图片来源:鼎龙股份公告截图

鼎龙股份称,该产品使用氧化铝研磨粒子和高分子聚合物,是所有抛光液中技术最难的关键材料,公司已突破技术难关,实现三种关键材料的自主制备。该款搭载公司自制研磨粒子的抛光液产品,是目前尚未取得国产化材料突破的卡脖子抛光液型号之一,难度极高,其各项参数均达到客户应用要求,通过客户端全方面工艺参数验证,并已进入吨级采购阶段。

据悉,目前,鼎龙股份各制程抛光液在中国各个主流厂商的验证评价和市场推广工作已全面展开,部分客户的初步评价已经获得了客户端极好的评价结果。产能建设方面,武汉本部工厂一期全自动化抛光液生产车间已经建成,具备年产5000吨抛光液的生产能力,能够满足客户端订单需求。公司将根据市场情况尽快研究部署二期产能建设。

鼎龙股份表示,本项目是公司CMP全局平坦化综合解决方案的重要组成部分,也将形成公司新的新产品增长级。

封面图片来源:拍信网