注册

【材料/设备】晶瑞电材:苏州瑞红KrF光刻机搬入实验室

来源:全球半导体观察整理       

7月5日,晶瑞电材官微宣布,苏州瑞红KrF光刻机及配套设备搬入实验室。

晶瑞电材表示,本次光刻机的顺利搬入将为公司KrF光刻胶的产品开发及生产品质管控提供强有力的保障,有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力,对于提高公司可持续发展能力具有重大意义。

据此前5月公告,晶瑞电材拟将从事光刻胶业务的子公司苏州瑞红电子化学品有限公司(苏州瑞红)申请挂牌新三板,并进入创新层。

资料显示,苏州瑞红主要生产光刻胶、配套试剂、高纯化学试剂等黄光区湿化学品,应用于FPD(LCD、TP、OLED、CF)LED、IC等相关电子行业,与国内大部分相关厂商保持业务联系。

据悉,苏州瑞红拥有负型光刻胶系列、宽谱正胶系列、g 线系列、i 线光刻胶系列、 KrF 光刻胶系列等数十个型号产品。ArF光刻胶的研发工作有序开展中;i线光刻胶已向国内中芯国际、合肥长鑫等知名大尺寸半导体厂商供货;KrF(248nm深紫外)光刻胶产品分辨率达到了0.25~0.13μm的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中,计划2022年形成批量供货。

封面图片来源:拍信网