晶盛机电子公司慧翔电液12英寸横向磁场首次突破5000Gs

来源：全球半导体观察整理 2023-09-11 09:10:42

近日，晶盛机电子公司慧翔电液半导体级直拉单晶超导磁场研发取得新突破——12英寸干式横向超导磁场首次突破5000Gs，这标志着慧翔电液成为国内首家能稳定量产5000Gs的MCZ超导磁体企业。

晶盛机电表示，本次“5000Gs”的超导磁体到来，将极大地改善设备拉晶效果，为高端半导体拉晶工艺奠定基础，满足半导体行业直拉硅单晶工艺的差异化需求。

晶盛机电控股子公司慧翔电液，自2016年起便专注于磁性流体密封技术、半导体单晶炉用超导磁体系统、尾气处理装置等研发销售。

封面图片来源：拍信网

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