来源:全球半导体观察整理
近日,南大光电发布投资者关系活动记录表,透露旗下已有两款 ArF 光刻胶进入批量验证阶段。
南大光电表示,ArF光刻胶验证阶段主要分为PRS(光刻胶性能测试)、STR(小试)、MSTR(批量验证)及Release(通过验证)四个阶段。公司已有两款胶通过客户验证,多款胶正在验证过程中。验证中的ArF光刻胶因开始时间不一,验证进度也不同,其中有两款胶进入MSTR阶段。
南大光电称,当前公司光刻胶事业部主要任务是尽快完成更多产品的验证,加强市场拓展,争取早日实现规模量产,形成业绩贡献。公司用于生产ArF光刻胶的核心原材料,由公司自主研发,对于国内具备供应能力的原材料,通过外购解决。
同时,南大光电透露,公司去年发行可转换公司债券募集资金9亿元,其中8000万元用于实施“年产140吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目”,计划通过扩建和技改,增加磷烷年产能70吨、砷烷年产能70吨。截至目前,项目已建成70吨砷烷产能和35吨磷烷产能,后续建设正在稳步推进中
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