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IWAPS 2023 | 第七届国际先进光刻技术研讨会举办时间通知

来源:IWAPS 2023       

近年来,集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业,尤其在中国,集成电路产业受到了前所未有的关注,并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势,国际先进光刻技术研讨会(International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS)应运而生。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台,参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果,探讨图形化解决方案,研讨即将面临的技术挑战。

自2017年以来,IWAPS已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加,行业反响热烈,业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外,IWAPS自2020年起已被IEEE收录,接收论文将被送检IEEE Xplore与EI。欢迎大家踊跃报名、投稿!

第七届IWAPS将于2023年10月26-27日于浙江丽水举行,欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导,积极投稿演讲,参会名额有限,有意者请及时报名参会

官网报名链接:https://www.iwaps.org/cn/index/10

扫码报名:


(手机扫描二维码,通过邀请函报名)

-主办单位-


中国集成电路创新联盟   


中国光学学会

-承办单位-


中国科学院微电子研究所

-协办单位-


丽水经济技术开发区管理委员会


浙江富浙资本管理有限公司

广东省大湾区集成电路与系统应用研究院


南京诚芯集成电路技术研究院

-往届精彩回顾-

IWAPS 2017 北京



链接:首届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕

IWAPS 2018 厦门



链接:第二届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕

IWAPS 2019 南京



链接:第三届国际先进光刻技术研讨会在南京开幕

IWAPS 2020 成都



链接:第四届国际先进光刻技术研讨会在成都开幕

IWAPS 2021 佛山



链接:第五届国际先进光刻技术研讨会在广东佛山开幕

IWAPS 2022 北京 线上



链接:第六届国际先进光刻技术研讨会顺利闭幕

-征稿范围-

i. Optical Lithography
ii. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography
iii. Advanced Patterning Technologies
iv. Metrology, Inspection and Testing
v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability
vi. Materials
vii. Process

-往年论文集-

IWAPS 2020: 
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding
IWAPS 2021:https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding

IWAPS 2022: 
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding
IWAPS 2023 会议筹备工作已经展开
更多信息,敬请关注会议官网
www.iwaps.org/cn
(请复制链接后在浏览器中打开)
以及“光刻人的世界”微信公众号
我们会随时更新

封面图片来源:拍信网