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【IC设计】北方华创:14nm设备正加速研发 现在、未来都不会开发光刻机

来源:全球半导体观察    原作者:张明花    

国内迎来晶圆代工厂建厂落地潮,预计2019年~2020年将会是新厂设备大规模导入时间点,国产设备将迎来更大的机遇。在国内集成电路产业火热发展的大环境下,国产设备厂商如中微半导体、北方华创、晶盛机电等均有了长足发展。

作为国产设备代表企业之一,日前北方华创在投资者活动中回应了其14nm制程设备进展、产品发展规划等问题。

14nm制程设备进展

2017年年报中,北方华创表示2018年要推动14nm工艺设备等新产品的技术开发及市场拓展、布局10nm、7nm前沿关键技术研发,在这次投资者活动中,北方华创进一步回应了14nm设备进展。

集成电路制造设备的研发周期由设备厂商自身研发进度和其下游客户正线工艺开发进度共同决定,目前国内制造企业在工艺方面远落后于国际水平。

代表国际水平的台积电、三星早已量产10nm、7nm,台积电的5nm正在路上,格芯5月16日也宣布7nm制程将于今年底前亮相,而代表大陆本土自主技术水平的中芯国际现在的量产制程仍处12英寸28nm阶段,中芯国际日前表示其14nm工艺预计在2019年上半年量产。

今年4月,北方华创曾在投资者平台上透露,目前其12英寸14nm制程设备正在在加速研发中,14nm刻蚀机、退火设备、PVD、ALD、清洗机、立式炉、ALD等已经在客户端进行验证。

在这次投资者活动中,北方华创表示由于目前国内14nm制程客户处于研发阶段,在设备研发到小批量生产阶段,客户可能不会大规模采购国产设备,后期客户会考虑成本因素,会逐渐增加国产设备的采购比例。

但对于14nm制程设备而言,如果以批量销售作为衡量标准,北方华创认为还需要2~3年。

现在、未来都不会开发光刻机

半导体设备是北方华创营收贡献最大的业务,2017年营收占比为51.01%,产品包括刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、扩散炉、清洗机及MFC等7大类。

据北方华创透露,其半导体设备的主要客户有中芯国际、武汉新芯、三安光电、华力微、京东方等,在长江存储的公开招标中已中标两台PVD和两台清洗机,还有刻蚀机、氧化炉在客户端进行工艺验证,与合肥长鑫也正在就后续设备的评估展开沟通,中芯国际后续如果进行成熟工艺投产也会带来一定数量的订单。

有投资者问及是否计划切入IC单晶炉及开发光刻机,对此北方华创也作出了明确回应。

北方华创表示,相比IC用单晶炉,国内光伏用单晶炉出货量较大,公司目前集中于光伏单晶炉业务,另外IC单晶炉技术难度相对较高,此时切入还存在一定的难度。

至于光刻机,目前ASML是国际上占绝对竞争优势的光刻机厂商,北方华创则回应称没有开发光刻机的计划、未来也不会做,并表示将继续围绕现有设备种类做精做强。