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【材料/设备】为什么ASML一年最高产量只有30部EUV?

来源:TechNews科技新报    原作者:Atkinson    

晶圆制造产业进入7纳米制程之后,目前全世界仅剩台积电与三星,再加上号称自家10纳米制程优于竞争对手7纳米制程的英特尔等,有继续开发能力之外,其他竞争者因须耗费大量金钱与人力物力的情况下,都已宣布放弃。

就在7纳米制程节点以下先进制程的领域,必不可少的关键就是极紫外线微影(EUV)设备导入。除了三星用在首代7纳米LPP制程,台积电也自2019年开始,将EUV导入加强版7纳米+制程。

所谓的极紫外线微影设备EUV,就是Extreme Ultraviolet简称,使用通称极紫外线之极短波(13.5nm)光线的微影技术,能加工至既有ArF准分子雷射光微影技术不易达到之20nm以下的精密尺寸。不但能降低晶圆制造时光罩使用数量,以降低生产成本,并提高生产良率,也因能加工过去ArF准分子雷射光微影技术不易达到的20nm以下之精密尺寸,更有助半导体产业摩尔定律(Moore’s law)再往下延伸,让半导体产业发展持续精进。

因EUV设备扮演如此关键性的角色,使全球晶圆生产企业都希望获得此设备。2012年,全球三大顶尖晶圆制造厂商英特尔、台积电、三星等加入全球EUV市场占有率90%以上的ASML“客户联合投资专案”(Customer Co-Investment Program),分别取得ASML 15%、5%及3%股权,保证取得EUV优先供货。

听了这么多有关EUV设备的叙述之后,或许大家都懂了这是什么样的设备,但却很难想像,EUV不过就是一台微影设备,究竟体积会有多大?日前ASML就表示,目前最大年产量仅30台的EUV设备,每台重量高达180公吨,每次运输要用3架次货机才能运完。

ASML表示,目前半导体先进制程不可或缺的EUV设备,每台有超过10万个零件,加上3千条电线、4万个螺栓及2公里长的软管等零组件,最大重量达180公吨,每次运输必要动用40个货柜、20辆卡车,并3架次货机才能运完,且每部造价超过1亿美元。在这么庞大的数字下,可以想见ASML为什么一年最高产量只有30部EUV了。

图片声明:封面图片来源于正版图片库,拍信网。

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