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【材料/设备】芯源微前道涂胶显影机到位中芯北方进行验证

来源:全球半导体观察       

近日,由沈阳芯源微电子设备股份有限公司(以下简称“芯源微”)生产的前道涂胶显影机到位中芯北方进行验证。据沈阳日报报道,这意味着国产涂胶显影设备开始走向批量市场。

资料显示,芯源微成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,目前主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机),产品可用于6英寸及以下单晶圆处理(如LED芯片制造环节)及8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。

2019年12月16日,芯源微在上海证券交易所科创板上市,成为了辽宁省科创板“第一股”和中科院第一家科创板上市企业。根据此前的招股书披露,芯源微拟向社会公开发行不超过2,100万股,计划募集资金3.78亿元投入高端晶圆处理设备产业化项目、高端晶圆处理设备研发中心项目两大项目。

2019年度报告显示,芯源微生产的前道涂胶显影设备于2018年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证,其中上海华力机台为前道Barc(抗反射层)涂覆设备,已于2019年9月通过工艺验证并确认收入;长江存储机台为前道涂胶显影设备,目前仍在验证中。通过在上海华力、长江存储的验证与改进,公司光刻工序前道涂胶显影设备在多个关键技术方面取得突破,技术成果已应用到新产品、新客户,截至目前,已陆续获得了株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、厦门士兰等多个前道大客户的订单。

而集成电路前道晶圆加工领域用清洗机Spin Scrubber设备的各项指标均得到明显改善或提升,已经达到国际先进水平。该类设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证,截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单。

此外,芯源微生产的光刻工序涂胶显影设备与单片式湿法设备,已经从传统的先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域,截至目前已累计销售800余台套,已作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等国内一线大厂。

封面图片来源:拍信网