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【材料/设备】供货三星及SK海力士?传SK Materials量产高纯度氟化氢气体

来源:钜亨网       

6月17日,韩国SK Materials表示,该公司已于近期开始了高纯度(99.999%)氟化氢(蚀刻气体)量产。由于纯度已达到一定程度,三星电子及SK海力士也都导入使用。

根据《日本经济新闻》17日报导,SK Materials的99.999%(5N)高纯度氟化氢,虽然在纯度上逊于日本产的99.999999999%(11N)超高纯度氟化氢,但是已被用于晶圆清洗等部分制程。

随着高纯度氟化氢被用于半导体的清洗用途,也由于半导体制程的微细化,需求量也跟着快速增加。

2019年11月。SK Materials成立了相关材料的研发中心。在研发过程中成功的试作出高纯度氟化氢,也在韩国庆尚北道的荣州工厂,设置了年产量15公吨规模的生产设备,逐步的朝着国产化目标迈进。计划在2023年前,国产化的比率要拉高到70%。

此前,韩国半导体业,100%依赖日本等国所生产的高纯度氟化氢。不过2019年7月开始,日本针对出口到韩国的高纯度氟化氢、氟化聚醯亚胺,以及光阻剂等3种先进化学品,实施了严格的出口管制。这也使得日本在出口这些化学原料时,必须一一接受当局审核才得以放行。

也由于这几种化学原料,是OLED面板及半导体生产所不可或缺的,严重关系到韩国电子业的未来发展。韩国也立即展开动作,一方面寻找日本之外的供货来源,另一方面也在政府支援下积极的推动国产化。

此外,韩国的Soulbrain,也展开了纯度99.999%以上的液态氟化氢生产。

封面图片来源:拍信网