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【材料/设备】一期试产成功!山东有研半导体项目在德州又有新进展

来源:大众网    原作者:蒋丽君/王观博/赵庆川    

2018年7月26日,山东有研《集成电路用大尺寸硅材料规模化生产》正式签约;

2019年3月19日,举行开工仪式,开始桩基施工;

2019年6月,启动主体施工;

2019年12月18日,主体结构封顶;

今年7月份,130余台套工艺设备陆续进场,部分生产线已进入试运行阶段。

8月份,半导体级八英寸硅单晶一次性拉制成功……

一环接一环,环环相扣,一丝不苟,有条不紊。

这样的进度,这样的顺利,让这一省级重大项目的负责人感到欣慰。近日,大众网·海报新闻记者走进山东有研半导体材料有限公司,在直拉硅单晶生产车间,看到了“新鲜出炉”的硅单晶,这标志着项目的建设进入了一个新的阶段,也标志着项目在德州厂房的建设达到了一个非常好的水准。

项目的顺利体现在节点的提前,八英寸集成电路用八英寸直拉硅单晶在德州拉制成功,不但收获了预期的效果,而且提前完成了预期进度。

项目的顺利还体现在一次性拉形成功,这是很难得的。“单晶生长的工艺非常复杂,一根单晶的全部生长周期通常需要三天左右,对外部水、电和氩气等动力条件的供应稳定性甚至地面震动幅度的要求都很苛刻,母公司有研半导体在北京的工厂以前进行单晶生长时会出现液面不稳定而造成单晶断棱出现位错的情况,而这次在德州的新工厂单晶是一次性拉制成功。”公司副总经理刘斌介绍说,确实可喜可贺。

这样的成绩,来源于有研半导体材料有限公司强大的根基,公司作为中央直属企业有研集团的成员单位,是半导体材料行业的名副其实的“国家队”。自2001年成立以来,在国内最早开发出8英寸和12英寸硅片并实现商业化,已发展成为我国半导体硅材料领域的龙头企业。

这样的成绩,同样离不开项目所在地的“沃土”。谈起当地支持,山东有研半导体材料有限公司副总经理常青有说不完的话题,感动于德州经济技术开发区行政审批局,把所有审批项目代办、组合办,少跑了腿,多办了事;感动于供水供电部门,派专人盯在项目现场,及时解决用水用电问题;感动于经开区管委会,为北京搬迁过来的70余人的团队解决了就餐、住宿难题……

当然,项目在建设过程中,也遇到了始料未及的阻碍。今年以来,新冠疫情影响给项目建设带来了巨大的挑战。不仅仅有人员防疫的问题,还有原材料问题。德州工厂所需要生产物料,很大一部分都是从到日本、韩国、美国、马来西亚、台湾等国家和地区购入,得益于公司领导层的“先行一步”,项目遇到的问题始终没有“赶上”项目的进度。

疫情一发生,公司立即开会讨论给所有的供应商追加订单。“到三月份的时候,国外疫情发生变化,我们考虑到运输、涨价等因素,又及时订购了一批物资,如果工厂停的话影响很大,恢复需要时间,对客户也有影响,所以今年我们是平稳过渡。”刘斌说,疫情期间,所有事情的节奏把握得恰到好处,正是由于提前对策和计划,德州工厂的生产建设从去年到现在一直没有中断过。

当前,5G投资如火如荼,大数据、人工智能、工业互联网、物联网等技术方兴未艾,大尺寸硅材料受人工智能、大数据等新兴产业的带动,市场迎来快速增长,这对德州工厂也提出了迫切的需求。

据常青介绍,硅片为适应芯片制程的进步正朝大尺寸方向发展,硅片尺寸越大,单位芯片制造的成本越低,边角浪费的硅片越少,12英寸硅片成为主流。而项目的二期工程12英寸硅片规模化生产项目也在积极筹备,计划明年开工建设。

据了解,有研当期项目投资18亿元,总建筑面积约10万平方米,新建单晶厂房1栋、硅片加工厂房1栋、综合动力站1栋及仓库、气站等;形成年产276万片8英寸硅片、180万片6英寸硅片以及300吨12-18英寸硅单晶的生产能力。项目建成投产后,可实现年销售收入10亿元、利税2亿元,将成为北方最大的半导体材料生产基地,而该项目作为德州东部城区创新组团的龙头项目,瞄准我国重大战略产业短板,填补省内相关领域空白,对德州市乃至山东省发展新一代信息技术产业,打造战略性新兴特色产业集群意义重大。

封面图片来源:拍信网