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【材料/设备】华为旗下哈勃投资公司入股光刻机制造商科益虹源

来源:TechWeb       

据企查查工商信息,近日,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域,入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司。

6月2日,北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化,注册资金从1.2亿元增加到2.02亿元,增长68%,新增投资人包括华为旗下的哈勃投资,占股4.76%,成为第七大股东。科益虹源主要业务是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

根据相关报道,2018年科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器出货,打破了国外厂商的长期垄断。

2020年4月份,科益虹源集成电路光刻光源制造及服务基地项目开工建设。该项目由北京科益虹源光电技术有限公司投资建设,总投资5亿元,建筑面积1.2万平方米,年产RS222型光刻准分子激光器、光刻用准分子激光器、405光纤耦合头等各类设备30台(套)。