EN CN
注册

【材料/设备】盛美半导体首台清洗设备入驻芯物科技12吋中试生产线

来源:全球半导体观察整理       

据盛美半导体官微消息,2021年6月7日,上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行,盛美半导体设备(上海)股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技。

图片来源:盛美半导体

企查查资料显示,芯物科技成立于2017年09月,其股东包括上海新微技术研发中心有限公司、上海市嘉定区集体经济联合社、上海国际汽车城(集团)有限公司、中电海康集团有限公司、华立科技股份有限公司以及格科微、晶方科技、士兰微等。

据此前媒体报道,2018年7月,国家智能传感器创新中心启动建设,由上海新微、中电海康、格科微电子等14家单位共同发起筹建,芯物科技负责经营落地,通过关键共性工艺技术的研发,建设研发平台、检测技术平台、设计服务平台、工程服务平台等,促进传感器产业链协同发展。

盛美半导体新闻稿中显示,国家智能传感器创新中心负责人在致辞时介绍,12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均采用国产设备,为国产装备提供验证平台,加速传感器产业链国产化,实现自主可控。

据介绍,盛美半导体本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备,该设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗,可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小,产能高,稳定性强,多种清洗方式灵活可选,且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。

封面图片来源:拍信网