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【材料/设备】日媒:日企量产100毫米氧化镓晶圆 将于今年内开始供应

来源:全球半导体观察整理       

据日经中文网6月16日报道,由日本电子零部件企业田村制作所和AGC等出资成立的Novel Crystal Technology在全球首次成功量产以新一代功率半导体材料“氧化镓”制成的100毫米晶圆。将于2021年内开始供应晶圆。客户企业可以用支持100毫米晶圆的现有设备制造新一代产品,有效运用过去投资的老设备。

报道指出,在日本政府的半导体战略中,功率半导体被视为日本企业保持国际竞争力的领域之一。功率半导体材料目前处于过渡期,现在的主流材料是硅,碳化硅(SiC)和氧化镓等材料的开发不断推进。此次成功实现晶圆量产化的氧化镓有望在相关竞争中占据优势。

报道还称,这次氧化镓成功量产对客户企业也有好处,由于可以用支持100毫米晶圆等的现有设备来生产半导体,能够控制住设备投资。日本半导体厂商拥有过多的老式生产设备,这些设备有望得到有效利用。此外,Novel Crystal Technology还计划2023年供应150毫米晶圆。

根据Novel Crystal Technology官网介绍,该公司于2019年成功开发出高质量2英寸(50.8毫米)氧化镓外延片,并于2019年初开始生产销售。但由于成本不相匹配而没有功率器件的量产线,该晶圆的用途仅限于研发。这次,该公司成功开发高品质β型氧化镓100mm外延片,这使得在100毫米生产线上制造氧化镓功率器件成为可能。

封面图片来源:拍信网