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【材料/设备】晶瑞电材KrF光刻胶项目获新进展

来源:全球半导体观察    原作者:竹子    

近日,晶瑞电材发布了2021年年报,年报披露,晶瑞电材2021年实现营业总收入183,208.76万元,较上年同期增长79.21%。其中晶瑞电材光刻胶业务近年持续大幅增长,光刻胶及配套材料产品共计实现销售27,412.34万元,同比增长53.04%,创历史新高。并且晶瑞电材表示,公司KrF光刻胶计划今年形成批量供货。

KrF光刻胶计划2022年形成批量供货

公开资料显示,晶瑞电材是一家微电子材料的平台型高新技术企业,围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向,主导产品包括光刻胶及配套材料、超净高纯化学品、锂电池材料和基础化工材料等。

晶瑞电材表示,光刻胶产品由公司的子公司苏州瑞红生产,产品主要应用于半导体及平板显示领域。据悉,苏州瑞红1993年开始光刻胶生产,承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目。

近日,晶瑞电材在接受机构调研时表示,公司子公司苏州瑞红的光刻胶品类齐全,经过三十年积累,拥有负型光刻胶系列、宽谱正胶系列、g线系列、i线光刻胶系列、KrF光刻胶系列等数十个型号产品,ArF光刻胶的研发工作有序开展中。

目前,晶瑞电材i线光刻胶已向国内中芯国际、合肥长鑫等知名大尺寸半导体厂商供货。其中KrF(248nm深紫外)光刻胶产品分辨率达到了0.25~0.13µm的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中,计划2022年形成批量供货。

自2020年启动集成电路制造用高端光刻胶研发项目以来,晶瑞电材不断完善半导体设备。在原有3台光刻机的基础上,晶瑞电材于2020年下半年购买了ASML1900 Gi型光刻机及配套设备,于2021年下半年购入了尼康KrF S207光刻机及配套设备,目前该公司拥有成系列的光刻机五台。

加速光刻胶产业链布局

除了主营业务光刻胶产品及配套材料销售大增外,晶瑞电材近年来加速光刻胶产业链布局,据年报显示,晶瑞电材在双氧水、半导体级高纯硫酸、锂电材料等方面,销售呈上升趋势,产能也不断扩张。

年报显示,在双氧水方面,2021年度晶瑞电材双氧水实现销售13,930.94万元,同比增长近 85%,目前该公司半导体级双氧水已成功实现在中芯国际、长江存储、华虹宏力、合肥长鑫、武汉新芯等芯片制造龙头企业的测试、跨线及产销量爬坡,并成为部分头部芯片企业的第一大供应商。

对于高纯硫酸项目进展,晶瑞电材称,2021年度公司一期3万吨半导体级高纯硫酸产线顺利通车,经试生产调试,品质已达全球同行业第一梯队水平,产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求,标志着公司已建成国内规模最大的半导体级高纯硫酸基地。

4月17日,晶瑞电材宣布,近期晶瑞电材半导体高纯电子化学品G5等级高纯硫酸面向12英寸芯片厂批量出货。同时半导体级高纯硫酸二期6万吨项目正在积极建设中,预计2023年上半年建成,未来高纯硫酸有望成为公司新的利润增长点。

另外,晶瑞电材子公司眉山晶瑞投资建设的“年产1200吨集成电路关键电子材料项目”正在建设中,预计建设周期1年,力争在2022年底前建成。

封面图片来源:拍信网