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【材料/设备】沈阳芯源微KrF涂胶显影机台入驻士兰集科

来源:全球半导体观察整理       

6月11日,沈阳芯源微电子设备股份有限公司(以下简称“芯源微”)宣布,公司12寸KrF涂胶显影设备已于10日入驻厦门士兰集科。搬入仪式完成后,公司与士兰集科签署了战略合作协议。

芯源微表示,此次,公司12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的交付,将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务,为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保障。

据官网介绍,芯源微成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务,致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

芯源微所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品,已形成完整的技术体系和丰富的产品系列,其产品可广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域,可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。

封面图片来源:拍信网