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【材料/设备】默克联手美光,共同开发用于半导体产业气体解决方案

来源:全球半导体观察整理       

8月8日,默克公司宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖趋势的气体解决方案。 

据了解,经过一年的持续合作,美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,从而取代传统的高GWP材料。目标是在半导体制程中导入全新且更具永续性的气体解决方案。

美光运营中心团队和采购 CVP John Whitman表示,公司的新目标是,在2030年减少42%的全球营运所造成的碳排放(相较于2020年),为此,公司采取了多项措施以实现净零碳排的运营承诺,包括投资先进的减排系统,优先使用全球暖化潜势较低的气体,外购节能设备,以可再生能源取代石化能源等。

默克公司强调,两家公司皆致力于发掘有助实现永续发展目标的新材料,以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。

封面图片来源:拍信网