来源:全球半导体观察 原作者:Niki
近日,上海鼎泰匠芯科技有限公司(以下简称“鼎泰匠芯”)洁净室交付,首台ASML光刻机设备搬入。
鼎泰匠芯专注于车规级半导体产品及通讯终端芯片的开发及制造,其控股股东闻天下也是A股上市公司闻泰科技的控股股东据此前官方介绍,该项目总投资超120亿元,项目建成后可实现年产能约36万片12英寸功率器件晶圆片,主要用于MOSFET等功率器件产品的生产,产品可以广泛应用于消费,通讯,汽车,医疗,工业等电子产品领域,填补中国在车规级半导体领域的诸多空白。
临港新片区管委会高科处副处长王佩华表示,鼎泰匠心项目作为上海市重大建设项目是中国首座12英寸车规级工艺半导体晶圆厂,有利于临港新片区完善集成电路产业生态 ,支撑上海向世界级集成电路产业集群不断迈进。
值得一提的是,除了鼎泰匠芯,总投资22亿美元的格科微12英寸CIS集成电路半导体项目也曾在今年年初迎来ASML先进ArF光刻机设备的搬入。
众所周知,光刻机是光刻工艺的核心设备,也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,被誉为半导体制造设备的“皇冠”。光刻的主要作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上,是芯片制造的核心环节。
而作为全球半导体设备光刻机龙头,ASML也非常重视在中国的发展。据ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波介绍,自1988年至今,ASML在中国大陆的全方位光刻解决方案下的装机量已超过1000台,相应的员工数量也超过了1500人。
据2021年全年财报显示,中国大陆已是ASML第三大市场,约占其2021年全球营业额14.7%(即27亿欧元),2021年中国大陆的出货量占其全球出货量的16%。2022年第二季度,ASML设备在中国大陆市场的收入约为4亿欧元,预计全年来自中国大陆市场的收入将同比增长10%左右。
此外,ASML高管也曾多次强调中国市场对ASML以及全球半导体市场发展的重要性。
7月,ASML首席执行官彼得·韦尼克(Peter Wennink)在披露二季度财报时表示:中国大陆是半导体行业的重要参与者,是全球市场非常重要的供应商,尤其在更成熟的20nm到65nm,这些节点都与DUV有关,无论是干式DUV还是浸没式DUV。世界不能忽视“中国半导体产能对全球电子产业的重要性”。
今年10月,ASML在三季报中表示,根据初步评估,美国新颁布的出口管制条例并未修订ASML从荷兰运出光刻设备的规则,预计其对ASML 2023年整体出货计划的直接影响有限。换言之,ASML可照旧继续向中国出货非EUV光刻机。
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