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华海清科:12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货

来源:全球半导体观察整理       

5月21日,华海清科发布公告称,公司新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台出机发往集成电路龙头企业。

公告显示,12英寸超精密晶圆减薄机是业内首次实现12英寸晶圆超精密磨削和CMP全局平坦化的有机整合集成设备,Versatile-GP300量产机台可稳定实现12英寸晶圆片内磨削总厚度变化<1um和减薄工艺全过程的稳定可控。

Versatile-GP300 机台通过创新布局,集成超精密磨削、抛光及清洗单元,配置先进的厚度偏差与表面缺陷控制技术,提供多种系统功能扩展选项,具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点,可以满足集成电路、先进封装等制造工艺的晶圆减薄需求。

华海清科表示,Versatile-GP300量产机台进入大生产线,标志着其性能获得客户认可,填补了国内芯片装备行业在超精密减薄技术领域的空白。同时随着先进封装、Chiplet等技术的应用将大幅提升市场对减薄设备的需求,本次12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货,将有助于巩固和提升公司的核心竞争力,对公司未来的发展将产生积极的影响。

封面图片来源:拍信网